在光刻机研发领域，我国于核心技术攻坚方面已获关键突破。中科院上海光机所林楠团队近期绕开美国主导的二氧化碳激光路径，运用固体激光器技术成功研发出 LPP - EUV 光源，达国际顶尖水准。此成果冲破美欧对 EUV 光源的长期垄断，为国产 EUV 光刻机研发筑牢核心根基，意味着我国在这一 “卡脖子” 领域从 “跟随” 步入 “并行” 阶段。

  尽管距离制造出具备领先水平的光刻机尚存一定差距，但我国庞大市场规模与强劲需求必然促使光刻机产业链在国内持续迅猛发展，众多公司或将迎来机遇。

  作为湿电子化学品领域的领军企业，在半导体相关产业中占了重要地位。其主营超净高纯试剂以及光刻胶配套试剂，这一些产品精准覆盖半导体制作的完整过程中的清洗、蚀刻等关键工艺环节。在客户资源方面，华融化学与中芯国际、华虹半导体等头部企业建立了合作关系。

  从业绩表现来看，2024 年其营收成功突破 10 亿元。而其四川子公司在 2025 年出售的收益预计将增长 30%，光刻胶相关业务在整体业务中的占比也将提升至 25%。华融化学的优势显著，它实现了全产业链布局，技术门槛颇高。在当前国产替代加速以及半导体材料需求回暖的大趋势下，华融化学将从中受益良多。

  国林科技旗下的子公司国林半导体，在半导体臭氧设备领域崭露头角。其臭氧设备产品自 2023 年开始步入半导体领域，主要使用在于晶圆清洗和光刻胶去除工艺，这一成果填补了国内有关技术的空白。

  在订单方面，2025 年第一季度其半导体业务订单同比增长 180%，并且毛利率达到 45%，这一数据明显高于传统业务。国林科技的技术替代性很强，在政策支持的有利环境下，国产设备的渗透率正快速提升，国林科技无疑是这一趋势的受益者。

  飞凯材料堪称光刻胶国产化的先锋企业。其半导体级光刻胶已确定进入中芯国际、长江存储等重要客户的验证阶段，预计在 2025 年下半年可以在一定程度上完成量产，这一进展将打破日美在该领域的垄断局面。

  此外，飞凯材料来多元化布局，同步拓展显示光刻胶和封装材料业务。2024 年其净利润同比增长 120%，PCB 光刻胶的市场占有率在全球位居前三。飞凯材料的技术认证进度处于领头羊，在光刻胶涨价和需求爆发的双重驱动下，其发展前途十分可观。

  江化微在湿电子化学品领域实现了全领域覆盖，产品涵盖光刻胶配套试剂、超净高纯试剂等，并且应用于 12 英寸晶圆制造。在客户覆盖方面，包括京东方、华虹等企业。

  江化微的四川基地于 2024 年投产，使得 G5 级试剂产能翻倍。2025 年其营收预计突破 12 亿元，净利润同比增长 40%。江化微具有较高的技术壁垒，客户粘性很强，是半导体材料国产替代进程中的核心标的企业。

  海立股份旗下的控股子公司海立特冷，是光刻机冷却系统的供应商，为上海微电子等厂商提供精密温控设备，其技术能够适配 EUV 光刻机的需求。

  在业绩表现上，2024 年前三季度净利润同比大增 125.69%。其新能源车热管理业务与光刻机业务形成了协同效应。海立股份跨界技术整合能力出众，受到政策与市场需求的双重驱动。

  苏大维格作为纳米光学技术领域的有突出贡献的公司，向上海微电子供应光刻机定位光栅部件，其自研的激光直写光刻机支持 100nm 制程，技术在国内处于领先地位。

  在技术突破方面，纳米压印光刻设备已经实现小批量生产，2025 年的目标是营收增长 50%。苏大维格采用设备 + 材料双轮驱动的发展模式，技术延展性强，并且拥有丰富的专利储备。

  炬光科技是光场匀化器的核心供应商，其产品应用于国产光刻机曝光系统，市场占有率达到 60%，技术对标德国通快。

  在业绩方面，2025 年第一季度光刻机相关收入同比增长 200%，毛利率维持在 65% 以上，在手订单已经覆盖至 2026 年。炬光科技的技术独家性突出，在国产光刻机量产提速的进程中将受益颇多。

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